Espesor y constantes ópticas de películas delgadas
Fabricante de equipos para medidas del espesor y constantes ópticas en películas / láminas delgadas.
Los sistemas de medida en películas o capas delgadas MProbe, pueden medir prácticamente cualquier película translúcida delgada con espesor desde 1 nm hasta 1 mm. Se puede medir de forma rápida y fiablemente el espesor y las constantes ópticas en la mayoría de las películas translúcidas o ligeramente absorbentes como: óxidos, nitruros, fotosensibles, polímeros, semiconductores (AlGaAs, InGaAs, CdTe, CIGS), revestimientos duros (SiC, DLC), revestimientos de polímeros (Parileno, poliamidas), pequeñas películas metálicas y muchos más.
Rango espesores: 1 nm-1 mm. Rango longitudes de onda: 200 nm- 5000 nm.
– Medidas y análisis en tiempo real: Multi-capa, delgada, gruesa, no uniformes, etc… – Flexible: De banco o in-situ, conforme R&D. Fácil integración en un sistema usando TCP o interface Modbus. – Medidas: Espesor y constantes ópticas (índice de refracción y coeficiente de absorción). – Amigable y potente: Medidas y análisis con un solo clic. Potentes herramientas: Sensibilidad y simulación, corrección de fondo y escala, unión de capas y materiales, proceso de producción por lotes.
Precisión: 0,01 nm ó 0,01%. Sensibilidad: 0,2% ó 1 nm. Estabilidad: 0,02 nm ó 0,03%. Tamaño estándar del haz 3 mm, hasta 3 um. Tamaño de la muestra desde 1 mm.
Los sistemas estándar para reflectancia y/o transmitancia espectroscópica son:
| Modelo | Rango longitud de onda | Espectrómetro/ Detector/ Fuente de luz | Rango espesor |
| VIS | 400-1100 nm | F4/ Si 3600pixels/ Halógeno Tungsteno | 15 nm-20um(opción hasta 50 um) |
| UVVisSR | 200-1100 nm | F4/ Si CCD 3600 pixels/ Halóneno Deuterio&Tungsteno | 3 nm- 20 um(opción hasta 50 um) |
| HRViS | 700-1000 nm | F4 Alta resolución/ Si 3600 pixels/ Halógeno Tungsteno | 1 um-400 um |
| NIR | 900-1700 nm | F2 Espectrómetro transmisión TVG/ 512 InGaAs/ Halógeno Tungsteno | 100 nm-200 um |
| VISNIR | 400- 1700 nm | F4 Si CCD 3600 pixels (canal Vis); F2 Espectrómetro Transmisión TVG/ 512 InGaAs PDA(NIR canal)/ Halógeno Tungsteno | 15 nm-200 um |
| UVVISNIR | 200- 1700 nm | F4 Si CCD 3600 pixels (canal Vis); F2 Espectrómetro Transmisión TVG/ 512 InGaAs PDA(NIR canal)/ Halógeno Deuterio&Tungsteno | 3 nm-200 um |
| NIRSCAN | 900-5000 nm | Espectrómetros scanning/ InGaAs/ Detector MCT(tescaneo<60sg) TH-SiN | 100 nm-800 um |
| XT | 1590-1650 nm | F2 Espectrómetro transmisión TVG/ 512 InGaAs/ Halógeno Tungsteno. | 10 um-1 mm |
Ventajas de la reflectancia espectróscopica: – Mayor precisión en la medida de espesores (con la excepción de películas muy delgadas). – Medida de espesor en películas > 10um. Sistema Mprobe hasta 50 um. – Mayor velocidad en las medidas, < 1ms. – Medida de la aspereza de la superficie. Ventajas de la elipsometría espectroscópica: – Medida de películas muy delgadas < 5 nm. – Determinación de los valores n y k mediante una inversión directa de la medidas efectuadas.
Puedes ver esta presentación para conocer mejor los equipos para medidas de espesor y constantes ópticas en películas delgadas.
MProbe system configurations differs in wavelength and thickness range, accessories and sensitivity. Below are links to some of the latest brochures :
MProbe 20 system lineup – includes all standard configuration
MProbe 20 NIR/NIRHR):: measurement of high haze coating, coating on rough surfaces and thick films
MProbe 40( MSP) updated – all standard MSP configurations (small spot)
MProbe20 Vis : updated our most affordable system – popular in many R&D and OEM applications
MProbe VisLX: MProbeVis configuration for inline application (fast measurement and LAN interface)
MProbe20 UVVisSR : very thin films measurement/ellipsometer replacement best seller
MProbe20 UVVisNIR : our University and production R&D best seller
MProbe UVVisNIR-MSP: our R&D best seller
MProbe 20 VisHR :thick films(polymer web, polyuritane,thick coating) in R&D and industrial applications
MProbe 20 VisHC: Measurement on curved surfaces and large parts
Automated, computer controlled mapping is a great way to test uniformity of coating after deposition or polishing. Mapping accessory
We will be happy to recommend you a suitable system(or custom configure new system) based on you application requirements
