Estaciones de puntas – Probe Stations – Micromanipuladores – para fijación y conexión de obleas, circuitos integrados, dispositivos electrónicos miniatura y materiales a equipos electrónicos de test para su caracterización eléctrica.
Poseen sistema de fijación de oblea por vacío, microposicionadores X-Y-Z con diversos tipos de soportes de puntas y puntas de contacto eléctrico de diferentes diámetros y microscopios ópticos.
Las estaciones están disponibles con chucks de 4, 6, 8 y hasta 12″. Opciones disponibles de chucks térmicos para alta temperatura, sistema criogénico para temperaturas hasta 77K, mesas antivibratorias y cámaras de apantallamiento.
